Aptos Technology 群豐科技股份有限公司
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群豐科技以領先業界之1mil晶圓研磨技術及先進切割技術,可提供從單一站別到完整之晶圓處理代工服務。

晶圓研磨代工
除了1mil晶圓研磨技術,Aptos所採用之研磨機台具備晶圓拋光、防銅離子擴散製程,
並同時可提供黏晶切割膠帶(DAF)、果凍膠(FOW)、切割膠帶(Dicing tape)之晶圓背面膠帶選擇。
1mil晶圓研磨技術也應用於晶圓再生服務,Aptos提供磨除晶圓正面、背面塗佈層代工服務。


晶圓切割代工
Aptos採用晶圓切割機台具備雙刀晶圓切割能力,可防止晶圓正崩、背崩異常現象及晶圓
切割中鋁墊矽粉殘留現象。


基板切割 + 捲帶式包裝代工
優異之晶圓切割技術更可應用於基板切割服務,可提供12”(基板對角線距離 300mm)
& 8”(基板對角線距離 200mm)之基板切割服務。除了基板切割服務,Aptos同時擁有
捲帶式包裝機台(Tape reel),讓客戶同時享有基板切割 + 捲帶式包裝代工完整服務。


 

 

晶圓直徑

T8~12 inch (100~300mm)

研磨前貼片最薄厚度限制

8 inch (200mm) : ≧15.7 mils (400um)
12 inch (300mm) : ≧15.7 mils (400um)

研磨前貼片型式

"8 inch : Flat and V-notch
12 inch : V-notch"

研磨最薄能力

1 mils (25um)

晶圓貼片最薄能力

1 mils (25um)

研磨製程

研磨製程 : Poligrind、Dry Polishing、Gettering DP

研磨厚度誤差

研磨最終厚度 : <75um +/-5um , >=75um +/-10um

墨點直徑

≧ 20 mils (508um)

墨點厚度

≦ 1.0mil (25.4um)

墨點顏色

黑色&紅色






 

 

晶圓厚度

8 inch (200mm) : ≧ 1mils (25um)
12 inch (300mm) :≧ 1 mils (25um)

切割道寬度

切割道寬度 ≧ 2.36 mils (60um)

晶圓直徑

8~12 inch (200~300mm)

最小晶粒尺寸

2.2248 x 0.6534 mm

切割膠帶種類

DAF、FOW、UV 膠帶

 

Tape Reel

SBT size : 1.68mm X 1.68mm
Chip Size : 0.6mm X 0.6mm



   

 

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